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• 发布时间：2023-02-10
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【概要描述】　　真空泵服务商剖析真空压力操纵系统怎么优化。芯片离子注入加工工艺往往要在一个可控的真空下运行，反映腔的功效要在真空中维持工艺指标必须压力，清 除没有用的水蒸气、空气和额外生成物;创建一个可以使等离子产生反应真空。为降低刻蚀机真空压力操纵系统成本，完成高真空得到机器�